第(2/3)页

    “中科院半导所的JK-3型只有1微米精度，华清大学的分布式投影光刻机目前精度同样只有1微米，学校的就不说了，到目前只有2微米，还只能用于实验室……这几年因为高考人才跟经费等原因，我们跟这两单位的合作……”

    谢威再次叹了口气。

    早几年，他就有合作的想法。

    奈何，谁主导就成了问题。

    谁都不愿意由其他单位来主导，谢威更不想让其他单位主导——他提出的是采用极紫外光源作为光刻机的光源。

    在全世界范围内，连深紫外（DUV）目前的研制都不是很多，主流的光源还是紫外光源（UV），也就是在哈工大，谢威作为隐形的话事人，才不会有人质疑。

    中科院半导所跟华清大学等，根本就不鸟谢威——现在手里的研究成果都没法跟国外最前沿的比，一旦放弃，之前的研究就白费了。而谢威提出的极紫外光源，目前几乎没有什么基础——这是要利用准分子激光照在锡滴液发生器上，激发出13.5纳米的光源来作为光刻机的光源。

    激光！

    纳米！

    这两种在目前全世界范围内，都属于绝对的前沿科技！

    不仅需要更先进的检测系统，同样也需要精度更高的控制系统。

    “谢主任，咱们要不先放弃极紫外光源？”

    一直沉默的黄先生看着谢威的眼睛，轻声开口。

    “极紫外光源的研究，是不可能放弃的！哪怕学校所有的项目全部停了，也不能放弃！”

    谢威摇头。

    脸上满是坚决。

    放弃是不可能放弃的，一辈子都不可能放弃。

    无论激光还是纳米制造技术，都是未来。

    “以目前的情况，十年内，都不会有成果。这方面消耗的资金实在是太多了……”

    黄先生叹了口气，看着谢威满脸的坚定，表情有些复杂。

    她一直都没想明白在她印象中向来沉稳的谢威，为什么在本就属于半导体芯片生产流程中最关键、也是最复杂的光刻机上会如此“好高骛远”。

    搞基础一些的，先解决有无，积累技术，然后再往最顶级的技术发起冲击啊。

    可谢威直接跳过了前面的技术跟经验积累阶段。

    刘德宝跟倪光南的目光都投向了谢威，希望黄先生的劝导能管用，这事情，刘德宝等人可是劝了谢威不知道多少次。

    没用！

    “这事情就不说了。李瑞主任将会牵头，整合华清、中科院半导所等单位的力量，重点公关……”

    谢威直接拒绝谈这话题，“激光跟纳米制造技术是不能放弃的！除非我对学校没有任何影响力。”

    态度坚决到让人难受。

    “两位，等过几天14厂以及华峰的技术负责人过来，有什么问题咱们再讨论。”

    直接下达了逐客令。

    黄先生看着谢威满脸的坚定，嘴唇动了动，最终还是什么都没说，默默地叹了口气，起身离开。

    “谢主任，经费的问题……”

    “经费问题已经解决了。”

    刘德宝的话打消了倪光南的顾虑。

    “谢威啊，极紫外光源这块的技术难度实在是太大了，消耗经费也太多，要不咱们缓一缓？先搞预研？”

    谢威只是看着刘德宝，不说话。

    “好吧~好吧~反正我还有大半年就退休了。”

    被谢威的目光看得有些难受，刘德宝最终败下阵来。

    “你不该去找黄先生跟倪总来劝我的。”

    谢威的话，让刘德宝满脸尴尬。

    他没有否认。

    “咱们缺乏太多基础配套，极紫外光源的研究，不只是涉及激光技术跟纳米制造技术，同时还有配套的计算机控制、精度更高的传感系统、更高精度的电子显微镜、超高精度的制造工艺……”

    说到最后，刘德宝说不下去了。

    他知道谢威是为了以后的布局。

    可消耗的资金实在是太多了。

    “咱们去马教授那边看看吧。”

    谢威没再说话，而是提出去光电技术系一趟。

    1970年，50年代创办核物理专业的马祖光教授，创办了学校的激光专业，现在已经改为光电技术。

    而这位马祖光教授，在81年结束访问学者生涯归国后回到学校，在谢威提议、学校支持下，创建可调谐激光技术实验室，并且担任物理电子学研究生导师，第一批研究生毕业后，85年开始担任物理电子学博士导师。

    “特么的，要是能把当年被分走的800壮士全部搞回来，咱们学校……”

    路上，一想到当年学校被哈军工抢走的优秀骨干以及后来调到其他学校的大佬们，谢威就闹心。

    “你还是别想了。当年学校800壮士那是全国最顶尖的优秀青年骨干……”

    刘德宝知道谢威一直嫌学校高端科研人才不足，特别是学部委员，谢威的想法是至少能有200……

    可上面不能支持这事情不是？

    “想都不能想么？”

    谢威没好气地说道，“高端的前沿技术，需要最顶级的人才才行啊。”

    刘德宝直接不吭声了。
    第(2/3)页